СКВОЗНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТРЕТЬЕЙ ВОЛНЫ: ФОТОНИКА И ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ФЕМТОСЕКУНДНЫЕ ЛАЗЕРЫ В XXI ВЕКЕ
СЕРГЕЙ НИКИТИН
PH. D, ООО «ФЕМТОВИЖН», ГРУППА КОМПАНИЙ РОССИЙСКОГО КВАНТОВОГО ЦЕНТРА
Что такое фемтосекундный лазер? Почему фемтосекундные лазеры лучше других альтернатив для сверхточной обработки материалов, применений в медицине, оптической записи данных? Как с их помощью перепутать фотоны для защищенной оптической передачи данных, создать «вечную цифровую реплику» генома своей любимой собаки и устроить термоядерный микровзрыв?
В XXI веке мы стали свидетелями бурного роста телекоммуникационных и биотехнологий, поистине фантастического роста возможностей электронных гаджетов. Невообразимые всего несколько лет назад объемы информации возникают, пересылаются, обрабатываются, сохраняются и используются как в повседневной жизни, так и в промышленности. Человечество пожинает плоды «первой квантовой революции», которая случилась в первой половине прошлого века и подарила нам лазеры, транзисторы и атомные реакторы.
Нынешняя обстановка характеризуется вызреванием «второй квантовой революции» — набора технологий для управления единичными квантовыми объектами. Мы являемся свидетелями того, как новейшие методы экспериментальной физики, позволяющие манипулировать отдельными атомами и создавать искусственные квантовые объекты, вкладываются в руки химиков, биологов и медиков. И это открывает перед человечеством фантастические возможности не только в новых технологиях обработки материалов и информации, но и в генной инженерии и биоинформатике.
Один из таких инструментов — фемтосекундные лазеры, о применении которых и пойдет речь. Если вы торопитесь, то можете сразу перейти ко второй части, где говорится об их применениях. Первая часть — об истории развития лазерной техники и о том, как фемтосекундные импульсы генерируются лазером.
ЧАСТЬ ПЕРВАЯ — ПРО ЛАЗЕРЫ В ОБЩЕМ И ФЕМТОСЕКУНДНИКИ В ЧАСТНОСТИ
НЕМНОГО ИЗ ИСТОРИИ
Началом лазерной эры считаются 1955−1956 гг., когда были запущены первые мазеры А. Прохоровым и Н. Басовым в СССР и независимо Ч. Таунсом в США, за что эти ученые в 1964 году были удостоены Нобелевской премии по физике. Мазер — это устройство, работающее на том же физическом принципе, что и лазер, но в СВЧ-диапазоне. Спустя всего несколько лет в 1960 году Т. Мейманом в США был запущен первый лазер, или, как его тогда называли, «оптический мазер». Сами названия «мазер» и «лазер» — это сокращения от англоязычного описания принципа их работы: «Microwave — и Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation» соответственно (усиление микроволнового излучения / усиление света стимулированным испусканием излучения). Детальное обсуждение того, как и почему это все работает, можно найти в учебниках, например, довольно просто написан учебник Звелто.
КАК УСТРОЕН ЛАЗЕР?
Лазер состоит из активной среды, находящейся внутри лазерного резонатора — системы из как минимум двух зеркал, «съюстированных» (т. е. точно позиционированных по углу и расстоянию) так, чтобы свет между ними переотражался назад и вперед — через активную среду, которая при определенных условиях усиливает свет, для чего эта активная среда «накачивается» энергией от внешнего источника. Одно из зеркал резонатора специально делают немного прозрачным, чтобы усиленный активным элементом свет «просачивался» наружу через это выходное зеркало. Собственно, выходной пучок лазера как раз и возникает из-за переотражений между зеркалами. А энергоэффективность лазера в основном определяется тем, насколько эффективно активный элемент преобразует энергию накачки в энергию лазерного излучения.
Сама накачка может осуществляться самыми разными способами, но чаще всего направлением в активный элемент мощного светового пучка. Хотя бывают лазеры, источником энергии в которых служат электрический ток, химические реакции, газодинамические процессы и др.
В первых лазерах активным элементом был рубин, т. е. оксид алюминия с небольшой примесью хрома. Именно ионы хрома придают абсолютно бесцветному оксиду алюминия столь эффектный рубиновый цвет и при правильном подходе к делу усиливают мощность проходящего сквозь рубин красного света. Вплотную к рубиновому активному элементу (стержню) устанавливалась мощная лампа-вспышка, энергия которой «накачивала» ионы хрома, и переизлучалась ими в виде лазерного импульса красного света. Энергоэффективность такого переизлучения в первых лазерах была ничтожна, но тот факт, что свет от самой обычной лампочки трансформировался в остро направленный пучок света, испущенный в виде не очень длинного импульса, был просто потрясающим достижением. Ведь такой импульс легко фокусируется обычной линзой в пятно размером всего несколько микрон, и в этом крошечном пятне выделяется мощность во многие сотни ватт.
Вспомним, что по определению, мощность — это энергия, выделенная в единицу времени. Предположим, лазер испускает импульс с энергией 1 джоуль (Дж). Примерно столько энергии выделяется при падении 100 гр гирьки с метровой высоты. В таблице внизу слева указаны значения длительности импульса, а справа — соответствующие уровни импульсной мощности такого джоульного импульса.
Единица времени
Энергия
1 секунда
1 ватт (Вт)
1 миллисекунда
1 киловатт (кВт)
1 микросекунда
1 мегаватт (МВт)
1 наносекунда
1 гигаватт (ГВт)
1 пикосекунда
1 тераватт (ТВт)
1 фемтосекунда
1 петаватт (ПВт)
Вся дальнейшая история развития импульсных лазеров сопровождалась упорной борьбой за увеличение выходной мощности, уменьшение длительности импульса и увеличение эффективности преобразования накачки в лазерное излучение, для чего изучались все новые среды и все новые механизмы накачки. Что касается способов формирования все более коротких лазерных импульсов, то тут были освоены два важных режима работы лазера: режим модуляции добротности (или «гигантского импульса») и режим синхронизации мод.
«гигантский импульс» и синхронизация мод
Для получения режима «гигантского импульса» (он также известен как режим модуляции добротности, или Q-switch) лазер устраивают так, чтобы накачка активного элемента включалась в момент, когда у лазера, например, отсутствует одно из зеркал. Из-за этого энергия накачки накапливается активным элементом, но не может переизлучиться в виде лазерного импульса. Затем внезапно — за сотни наносекунд или быстрее — отсутствующее зеркало появляется. И в этот момент, вся накопленная активным элементом энергия выстреливается одним коротким и мощным «гигантским» импульсом наружу. Длительность такого импульса в значительной степени определяется длиной резонатора — чем она больше, тем больше времени требуется свету, чтобы пройти назад и вперед в резонаторе и снять энергию, накопившуюся в активном элементе. Типичной является длительность гигантского импульса в десяток наносекунд (разумеется, эффект отсутствия зеркала достигается специальными оптическими методами, а не его физической ликвидацией. Подробности — в учебнике Звелто). Так физики научились генерировать наносекундные импульсы. Для справки — свет в вакууме за одну наносекунду проходит 300 миллиметров (т. е. 30 см).
При энергиях в доли джоулей такими импульсами можно с высокой точностью паять микропровода, прожигать небольшие отверстия, спекать порошки и делать много других технологических операций. Кроме этого, уже к концу 60-х гг. появились новые лазерные среды и новые лазерные технологии, позволяющие усиливать энергию таких импульсов до уровня многих сотен джоулей и даже килоджоулей. Как уже понятно, килоджоуль за наносекунду — это гигаватт мощности. Такие лазерные импульсы на рубеже 60–70-х гг. открыли дорогу для лазерного поджига термоядерных реакций.
Прорыв к еще в тысячу раз более коротким пикосекундным импульсам стал возможным с освоением более сложного режима синхронизации мод. Для синхронизации мод нужен, как ни странно, не импульсный, а непрерывный лазер. К концу 60-х гг. непрерывные лазеры уже появились, как вариант — на гранате с неодимом. А вот на рубине непрерывные лазеры по ряду причин так и не сделали.
про резонатор
Теперь вспомним, что важнейшей частью лазера является резонатор. Пусть для простоты он состоит из двух зеркал. Свет, испущенный активным элементом, живет в этом резонаторе какой-то своей жизнью, непрерывно переотражаясь между зеркалами. И подобно тому, как в гитаре струна может вибрировать только на строго определенной частоте, так и в резонаторе в установившемся режиме «выживает» свет только на строго определенных оптических частотах, на которых формируются стоячие волны резонатора. Такие конфигурации светового поля с четко определенными оптическими частотами принято называть модами резонатора. Число мод зависит от широкополосности активной среды — насколько широкий у нее спектр лазерного усиления, иными словами, свет в насколько широком диапазоне оптических частот такая среда может излучать. Понятно, что чем спектральный диапазон шире, тем число возможных мод в резонаторе больше. В обычном непрерывном лазере все эти моды живут независимо друг от друга, излучение такого непрерывного лазера случайным образом заполняет весь объем резонатора и, образно говоря, напоминает топот толпы. Используя специальные методы, с которыми можно ознакомиться все в том же учебнике Звелто, изначально независимые моды можно «синхронизовать» друг с другом. В этом случае моды перестают вести себя как толпа и, синхронизовавшись, все вместе создают один общий импульс, который бегает по резонатору от зеркала к зеркалу. Геометрическая длина такого импульса обычно оказывается во много раз короче, чем расстояние между зеркалами (длины резонатора), и зависит от числа синхронизованных мод, что, в свою очередь, определяется шириной спектра усиления активной среды. Чем спектр усиления активного элемента шире — тем такой импульс короче. Конкретно, используя неодим в гранате, оказалось возможным получить длительности импульсов в десятки пикосекунд. Для справки — свет в вакууме за одну пикосекунду распространяется на 300 микрометров (т. е. 0,3 мм).
Познавательно оценить энергию импульса в режиме синхронизации мод, если известна мощность лазера и длина его резонатора. Сделать это просто. Пусть наш лазер на гранате с неодимом светит со средней мощностью 1 ватт, а расстояние между зеркалами его резонатора равно 1,5 метра. В режиме синхронизации мод внутри резонатора между зеркалами назад и вперед гуляет световой импульс. На проход резонатора туда-обратно (3 метра) импульсу требуется 10 наносекунд (3 метра поделили на скорость света). Отражаясь от выходного зеркала, какая-то часть импульса выходит наружу. Снаружи резонатора это выглядит как-то, что лазер испускает последовательность или цуг импульсов, отстоящих друг от друга на 10 наносекунд. За 1 секунду лазер излучит 100 миллионов таких импульсов, а поскольку у него средняя мощность 1 ватт, то совокупная энергия всех импульсов за секунду составит 1 джоуль. Чтобы подсчитать энергию единичного импульса, делим 1 джоуль на 100 миллионов импульсов. Получаем 10 наноджоулей на импульс. Вроде бы мало. Теперь попробуем оценить мощность каждого такого наноджоульного импульса. Для этого делим энергию импульса (10 наноджоулей) на его длительность, которая для неодима в гранате порядка 10 пикосекунд. Получаем 1 киловатт, и это при том, что средняя мощность лазера — 1 Вт. Как мы видим, переход в режим синхронизации мод позволяет в тысячи раз увеличить пиковую мощность лазерного излучения!
как мы пришли к фемтосекундным импульсам
Дальнейшее сокращение длительности лазерных импульсов достигалось двумя путями. Во-первых, шел поиск более широкополосных лазерных сред. Во-вторых, импульсы научились укорачивать, используя нелинейно-оптические эффекты. Последний способ, впрочем, довольно сложен технически, и поэтому было важно искать и осваивать новые широкополосные лазерные среды. Как мы помним, в режиме синхронизации мод чем шире спектр усиления среды, тем короче импульс можно получить. В 80-х гг. для генерации коротких импульсов были популярны лазеры на растворах органических красителей, имеющих исключительно широкие спектры усиления, практически покрывающие видимый диапазон. В таких лазерах были получены длительности импульсов в сотни и десятки фемтосекунд. Используя фемтосекундные импульсы, образно говоря, в качестве фотовспышки, физики научились «останавливать время» и отслеживать движение отдельных атомов в молекулах при химических реакциях (за эти работы американский физик А. Зевейл был удостоен Нобелевской премии по химии в 1999 г.). Однако использовать такие лазеры вне научных лабораторий рассчитывать не приходилось. Они были дорогие, сложные и хлопотные в обслуживании — активным элементом в таких лазерах была жидкая струя раствора с красителем, текущая сквозь резонатор и накачиваемая внешним лазерным пучком. Лампы накачки не годились из-за особенностей красителя, так что в таких системах один лазер был источником накачки для другого. В принципе, если работать аккуратно и не заливать краской рабочий стол, то жить было можно. Более серьезной проблемой был ограниченный срок службы красителей — они постепенно разлагались и утрачивали лазерные свойства, поэтому раствор красителя нужно было периодически обновлять. Несмотря на все неудобства, с такими лазерами было получено огромное количество научных результатов.
На рубеже 80–90-х гг. прошлого века появились и быстро распространились твердотельные активные элементы на основе титана в сапфире и хрома в форстерите. Лазеры на основе этих сред также требуют лазерную накачку, но они гораздо практичнее и долговечнее лазеров на красителе. При этом ширина спектра титана в сапфире такова, что непосредственно из лазера, без хитроумных методов нелинейной оптики, в режиме синхронизации мод можно получать импульсы короче 10 фемтосекунд! Неудивительно, что лазеры на сапфире с титаном уже к середине 90-х почти полностью вытеснили лазеры на органических красителях в научных лабораториях, а относительная простота обслуживания таких лазеров позволила, наконец, выйти фемтосекундным лазерам из лабораторий ученых в мир. Для справки — за 10 фемтосекунд свет проходит в вакууме всего 3 микрометра, а сам импульс состоит всего из нескольких оптических колебаний.
Настоящим прорывом в фемтосекундной технике явилось изобретение метода усиления фемтосекундных импульсов, известного в англоязычной литературе как CPA (chirped pulse amplification) — «усиление чирпированных импульсов». Правда, «чирп» остается английским «сhirp» — что значит «чирикать» (не путать с tweet, это — другое). Не вдаваясь в детали, отметим, что за изобретение этого метода французский физик Жерар Муру, работающий в США, совместно с канадской ученой Донной Стрикленд в 2018 году получили Нобелевскую премию. Почему их работа оказалось такой значимой? Дело в том, что длительность фемтосекундных импульсов настолько мала, уже при наноджоульных энергиях достигается пиковая мощность в сотни киловатт. При использовании «обычных» лазерных усилителей, т. е. тех, которые в 60−70-х гг. были освоены для наносекундных импульсов, при высоких мощностях очень быстро начинаются проблемы. Уже при микроджоульном уровне энергии фемтосекундный импульс достигает столь большой пиковой мощности, что может испытать бесконтрольное нелинейно-оптическое взаимодействие с усиливающей его активной средой. Во-первых, это плохо влияет на сам импульс, а во-вторых, может привести к самофокусировке импульса и повредить лазерный усилитель. Метод усиления фемтосекундных импульсов, разработанный Муру и Стрикленд, позволяет сначала растянуть фемтосекундный импульс, превратив его, например, в наносекундный и снизив его пиковую интенсивность до безопасного для усилителя значения, затем безопасно усилить импульс до нужной энергии и, наконец, «сжать» его обратно до фемтосекундной длительности, но уже при гораздо большей энергии.
Таким способом можно получить импульсы с фантастически большой пиковой мощностью. В качестве примера, импульс энергией 1 джоуль и длительностью 100 фемтосекунд имеет мощность 10 тераватт. Причем такой импульс можно сфокусировать в пятно размером в несколько микрометров. Достигаемая при этом интенсивность света настолько велика, что ее практически не с чем сравнить. Поле самого атома, в котором до взаимодействия с импульсом находился электрон, вообще говоря, становится ничтожно малой добавкой к лазерному полю. Электроны в таких условиях менее чем за одно оптическое колебание разгоняются до скорости света и «тяжелеют» из-за эффектов общей теории относительности — формируется «релятивистская плазма». Такими тераваттными импульсами можно ускорять элементарные частицы, инициировать термоядерные реакции, моделировать астрофизические процессы. В таких полях творятся чудеса, которые несомненно преподнесут еще много сюрпризов ученым. Исследования в этой области — это передний край современной лазерной физики, требующий поддержки на государственном уровне, как и другие современные мегапроекты. Мы же перейдем ко второй части, где будет обсуждаться применение фемтосекундных импульсов, которые вполне по силам обычным стартапам.
ЧАСТЬ ВТОРАЯ — ФЕМТОСЕКУНДНИКИ РЕШАЮТ ПРОБЛЕМЫ
Итак, фемтосекундные лазеры генерируют импульсы длительностью от 100 фемтосекунд и меньше. Это невообразимо короткие импульсы — свет за 100 фемтосекунд успевает пройти всего 30 микрометров. Уже при энергии 100 наноджоулей пиковая мощность в таком импульсе достигает мегаватта. Такой импульс легко сфокусировать в пятно размером несколько микрометров, в котором достигается исключительно высокая интенсивность лазерного излучения. В конце прошлого века появились лазеры на сапфире с титаном и форстерите с хромом, которые достаточно просто позволяют получить длительности порядка 10 фс прямо из лазера, без дополнительных нелинейно-оптических «трюков», что позволило на рубеже XX–XXI вв. выйти таким лазерам из лабораторий в мир. Подробный обзор о физике таких лазеров можно найти в материалах лонгрида.
волоконные лазеры и лазерные диоды
Очень важным шагом в развитии лазерной техники в общем и фемтосекундной техники в частности стало появление волоконных лазеров. Такие лазеры исключительно компактны благодаря тому, что их активный элемент представляет собой оптическое волокно с примесью активных ионов, например эрбия или иттербия, а резонаторные зеркала интегрированы в волокно, что делает их маловосприимчивыми к тряске и вибрации (в обычных лазерах зеркала резонатора при тряске могут разъюстироваться).
Другим не менее важным достижением было появление исключительно компактных, дешевых, но при этом мощных лазерных диодов, излучающих в красной и инфракрасной области оптического спектра, которые практически идеально подходили для накачки эрбиевых волокон. Как уже указывалось, многие лазерные среды, в т. ч. и волокона, требуют накачки с помощью внешнего лазера. Лазерный диод — это, по сути, крохотный лазер, активным элементом в котором служит полупроводниковый диод, а источником накачки является электрический ток, через этот диод протекающий. Удивительным свойством лазерных диодов является их энергоэффективность, далеко превосходящая все другие источники света, в том числе и во многом схожие с ними светодиоды.
Эти две технологии позволили создать компактные, экономичные и «неубиваемые» волоконные фемтосекундники. Такие лазеры все же ограничены по длительности импульса примерно одной сотней фемтосекунд. Для получения еще более коротких импульсов по-прежнему практически незаменимыми пока остаются лазеры на сапфире с титаном, они генерируют импульсы более чем в десять раз короче. Буквально в последние десять лет появились мощные лазерные диоды в сине-зеленой области оптического спектра, пригодные для накачки титана в сапфире. Таким образом, уже в ближайшее время высокоэффективные и компактные лазеры с диодной накачкой с длительностью порядка 10 фемтосекунд станут доступны не только для ученых, но и для промышленных и медицинских применений.
Основная особенность таких лазеров — невероятно высокая плотность лазерной мощности, а значит — напряженность поля световой волны. Уже при небольших энергиях порядка сотен наноджоулей такой импульс, сфокусированный в микронное пятно, в буквальном смысле мгновенно — за один оптический цикл — срывает электроны с ядер атомов, превращая твердые тела сразу в плазму. Причем делает это в микроскопическом объеме. Процесс формирования плазмы происходит столь быстро, что окружающий материал не успевает нагреться. Поэтому точность обработки поверхности такими импульсами исключительно высока. Интересно, что поскольку нагрев лазером обрабатываемого материала очень мал, то появляется возможность лазерной субмикронной обработки легковоспламеняющихся и взрывчатых веществ, а также обработки материалов при сверхнизких температурах. Процесс плазменной абляции при этом практически не зависит от типа обрабатываемого материала. Это может быть прозрачный диэлектрик, стекло, полупроводник, пластмасса, металл. В сущности, что угодно. При этом возможна микрообработка образцов с точностью, превышающей сто нанометров. В материалах лонгрида можно узнать больше о том, какие преимущества фемтосекундные лазеры имеют перед наносекундными или непрерывными.
сферы применения фемтосекундных лазеров
Так как сопутствующие повреждения при фемтосекундной обработке сведены к минимуму, крайне интересны медицинские применения фемтосекундных лазеров в офтальмологии, где они уже сейчас широко применяются для коррекции зрения, и в стоматологии. Фемтосекундными импульсами не больно сверлить зубы, но еще важнее, что фемтосекундная обработка зубной ткани не сопровождается ее растрескиванием, а значит, уменьшаются шансы вторичного кариеса и прочих осложнений. Возможно применение таких импульсов в нейро- и микрохирургии, вплоть до технологий вживления нейроинтерфейсов. При этом фемтосекундные лазеры естественным образом интегрируются с микроспектроскопией, что позволяет параллельно проводить химически селективную диагностику обрабатываемой поверхности. С примерами и фотографиями того, как можно фемтосекундным лазерным скальпелем разделять отдельные клетки, можно ознакомиться здесь.
Особенно интересны применения, связанные с обработкой прозрачных сред, когда излучение лазера можно сфокусировать в объем образца: с помощью такой микрообработки можно формировать трехмерные структуры — оптические интегральные схемы, объемные решетки — оптические датчики и многое другое. Появляется также возможность записи информации в объеме стекла. Использование объемной записи в сочетании с субмикронной точностью позиционирования позволяет записывать сотни гигабайт данных в нескольких кубических сантиметрах стекла. При этом термодинамические свойства стекла гарантируют сохранность записи за времена, как утверждают авторы технологии, сопоставимые с временем существования самой Вселенной. Подробнее о такой цифровой фемтосекундной технологии можно почитать и посмотреть видео по ссылкам в материалах.
При фокусировке фемтосекундных импульсов в воздухе возможно формирование микроскопической лазерной искры, относительно безвредной для человека. С помощью соответствующей системы сканирования реализуются системы трехмерной проекции в объеме воздуха. Как это выглядит, можно посмотреть тут.
Одно из уже хорошо освоенных применений фемтосекундников является их использование в качестве источника «частотных гребенок», своего рода виртуальных высокоточных линеек, позволяющих связать между собой радиочастотный и оптический диапазоны. За разработку этого метода немецкий физик Теодор Хенш был удостоен в 2005 году Нобелевской премии по физике — см.  его Нобелевскую лекцию о таких гребенках. Эти гребенки используются для разработки эталонов частоты, а также могут использоваться в радиофотонике. О том, как это работает в космосе, можно почитать здесь.
Число фотонов на кубический сантиметр в фемтосекундном импульсе даже при малых энергиях порядка наноджоулей столь велико, что резко возрастает эффективность многофотонных и нелинейно-оптических процессов. Это означает, что с помощью фемтосекундных лазеров можно высокоэффективно генерировать пары фотонов в «запутанных» квантовых состояниях. Эти состояния интересны тем, что квантовое измерение, например, поляризации одного из фотонов в паре, мгновенно фиксирует до этого неоднозначно определенное поляризационное состояние второго фотона, причем в момент такого измерения фотоны могут находиться на ничем не ограниченном расстоянии друг от друга. Это открывает возможность защищенной передачи информации методами квантовой криптографии — на межконтинентальных расстояниях. Так, например, спутник «Micius», недавно выведенный на орбиту в КНР, продемонстрировал передачу данных таким методом на дальность, превышающую тысячу километров. Строго говоря, этот спутник не использовал фемтосекундный оптический источник. Но фемтосекундные лазеры (в их волоконной версии) уже сейчас вполне годятся по своей экономичности и «неубиваемости» для полета в космос, а в скором времени к ним присоединятся и твердотельные фемтосекундные лазеры с диодной накачкой.
В рамках этого краткого обзора можно только обозначить некоторые области новейших технологий, для которых фемтосекундные лазеры будут крайне полезным инструментом. Надеюсь, этот лонгрид был интересным. Если вас заинтересовали фемтосекундные лазеры и вы бы хотели начать работать в этой области, то пишите автору, который будет рад ответить на любые ваши вопросы!
материалы к первой части
O. Звелто, 4-е изд., С-Петербург изд-во «Лань», 2008.
Наука и Жизнь, № 2, 2003
П. Г. Крюков, Квантовая электроника, 31, № 2 (2001), стр. 95
материалы ко второй части
П. Г. Крюков, Квантовая электроника, 31, № 2 (2001), стр. 95
L. Lucas and J. Zhang. Industrial Laser solutions for manufacturing, 06/01/2012
Coherent Inc.
Википедия
J.Serbin и др. Applied Surface Science Volumes 197−198, 30 September 2002, Pages 737−740
О. М. Саркисов. Химическая физика, 2012, том 31, № 8, с. 4−17
"Eternal 5D data storage by ultrafast laser writing in glass"
Proc. SPIE 9736, Laser-based Micro- and Nanoprocessing X, 97360U (4 March 2016)
Т. Хэнш, Нобелевская лекция, Успехи Физических Наук, том 176 стр 1368 (2006)
Н. Колачевский и др., Ракетно-космическое приборостроение и информационные системы, том 5, выпуск 1, c. 13−27 (2018)
"Satellite-based entanglement distribution over 1200 kilometers"
Yin et al., Science 356, 1140−1144 (2017)
Больше лонгридов и заданий доступны при записи на курс
Находясь на сайте, вы даете согласие на обработку файлов cookie. Это необходимо для более стабильной работы сайта
Понятно
Close